![]() |
![]() |
![]() |
|
![]()
|
Архив номеров
|
Печь для эпитаксии карбида кремнияПечь для эпитаксии карбида кремния, включающая водоохлаждаемый корпус с крышкой, нагреватели, тепловые экраны, кристаллизатор со съемной крышкой, смотровое окно, патрубок для вакуумирования, систему водоохлаждения, электропитания и контрольно-измерительную аппаратуру, отличающаяся тем, что корпус печи снабжен люком для загрузки кристаллизаторов, а в полости печи установлена карусель, на которой по окружности размещены ячейки для кристаллизаторов, причем ось карусели соединена с механизмом ее вращения, а кристаллизаторы подаются к съемной крышке, установленной в нагревателе, при помощи механизма подъема.
Все права защищены. Запрещаются любые виды републикации без разрешения редакции журнала.
© Евразийский химический рынок, 2005-2022 |
|