Евразийский химический рынок
Поиск
23.06.2022
22.06.2022
21.06.2022
Главная » Патенты » Способ обработки поверхности монокристаллической пластины кремния

Способ обработки поверхности монокристаллической пластины кремния

1. Способ обработки поверхности монокристаллической пластины кремния, ориентированной по плоскости Si(100) или Si(111), включающий воздействие на указанную поверхность химическими реагентами, отличающийся тем, что после воздействия химическими реагентами поверхность дополнительно пассивируют атомами водорода.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что пассивирование осуществляют сначала в 5-10 мас.% растворе HF, а затем водным раствором смеси NH4OH и NH4F с рН 7,6-7,7 в течение 40-60 с с последующей промывкой деионизированной водой и сушкой при нормальных условиях.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что пассивирование осуществляют сначала в 5-10 мас.% растворе HF, а затем водным раствором смеси NH 4OH и NH4F с рН 7,6-7,7 в течение 1 мин с последующей промывкой деионизированной водой и сушкой при нормальных условиях.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что воздействие химическими реагентами осуществляют сначала в кипящем растворе трихлорэтилена в течение 10-20 мин - двухкратная обработка с промывкой деионизированной водой по 5-10 мин после каждой обработки, а затем в водном аммиачно-пероксидном растворе состава: 5 объемов Н2O, 1 объем Н 2О2 30%, 1 объем NH 4OH 25% при 75-82°С с последующей ступенчатой трехкратной промывкой деионизированной водой по 5-10 мин на каждой ступени.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что воздействие химическими реагентами осуществляют сначала в кипящем растворе трихлорэтилена в течение 10-20 мин - двухкратная обработка с промывкой деионизированной водой по 5-10 мин после каждой обработки, а затем в водном соляно-пероксидном растворе состава: 6 объемов Н2О, 1 объем H2O2 30%, 1 объем HCl 37% при 75-82°С с последующей ступенчатой трехкратной промывкой деионизированной водой по 5-10 мин на каждой ступени.
Наши партнёры
ТПК «ИНФРАХИМ» CREON Group
Конференции и выставки, проводимые при информационной поддержке журнала «Евразийский химический рынок»
Полимеры России и СНГ: строительство и модернизация заводов Интерпластика 2022 СПГ Конгресс Россия 2022 «Логистика химической промышленности» -CHEMICAL SC-2022 «Ингредиенты и добавки» Азот Синтезгаз Россия и СНГ Rosmould | Rosplast 2022 Безопасность и охрана труда - 2022