Eurasian chemical market
Search
10.11.2022
08.02.2022
09.12.2020
03.12.2020
28.04.2020
15.01.2019
10.01.2019
08.10.2018
Home » Patents » Способ получения полых монокристаллов кремния

Способ получения полых монокристаллов кремния

Способ получения полых монокристаллов кремния, включающий выращивание монокристаллов с помощью затравки, отличающийся тем, что выращивание осуществляют методом вертикальной бестигельной зонной плавки, включающем создание на расположенном вертикально исходном слитке кремния капли расплава с помощью индуктора, затравление выращиваемого монокристалла на затравке, в виде ориентированного в направлении [111] монокристалла кремния, разращивание конусной части выращиваемого монокристалла до заданного диаметра при смещении исходного слитка и индуктора в горизонтальной плоскости и при условиях выращивания, обеспечивающих выпуклый фронт кристаллизации на растущем монокристалле и, в момент достижения заданного диаметра выращиваемого монокристалла, выход грани (111) на поверхность в центре расплава, а затем выращивание полого монокристалла при положении столбика расплава, соединяющего покоящееся на растущем монокристалле кольцо расплава с каплей на исходном слитке, между краем грани (111) и цилиндрической поверхностью растущего монокристалла.

Our Partners
China Chemical Reporter CREON Energy
Conference and Exhibition, held under an informational support of the magazine "Eurasian chemical market"
RUPLASTICA Rosplast 2023